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表面粒子計數(shù)器

品 牌:表面粒子計數(shù)器

型 號:表面粒子計數(shù)器

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  • 產(chǎn)品特點
  • 產(chǎn)品參數(shù)
  • 配件信息
  • 應(yīng)用領(lǐng)域
  • Surface Particle QV表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
    本儀器的核心零部件(光學(xué)傳感器)及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。
    本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作,并經(jīng)表面化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作,檢測光學(xué)傳感器采用美國進口整機,不吸氣的氣泵為旋片式進口氣泵,并可通過流量傳感器來調(diào)節(jié)氣泵的運行流量,使其保持在一個穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi),表面測試探頭根據(jù)德國同類產(chǎn)品進行改良優(yōu)良,并配有防靜電軟管與主機連接,其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內(nèi)部濾材為德國進口,從而保證儀器的檢測精度及運行穩(wěn)定性。

  • 主要技術(shù)參數(shù)
    檢測精度:0.3μm(0.1μm可定制)
    檢測通道:0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道
    (可定制:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm)
    計數(shù)效率:0.3μm50%±20%(第一粒徑通道),0.5μm100%±10%(第二粒徑通道)
    采樣流量:28.3L/min ±5%,可通過觸摸屏控制自行調(diào)整
    采樣時間:1S~24h
    重復(fù)性:相對標準偏差≤10%粒徑準確度:相對誤差≤10%自凈時間:≤10 min
    光  源:激光二極管,經(jīng)過特殊工藝優(yōu)化理論壽命為20年(MTT)或壽命大于40000小時操作界面:彩色觸摸顯示控制屏,便于操作和設(shè)定,能同時顯示6個通道以上的數(shù)據(jù),分辨率:320×240,屏幕數(shù)據(jù)縮放功能
    允許最大采樣濃度:≥0.3um≤1000000/ft3損失≤10%或≤500000/ft3損失≤5%檢測的空氣中不得含有腐蝕性氣體
    外形尺寸:280mm×260mm×260mm重量:7kg
    表面塵塊粒了計數(shù)器最大功耗:50W
    電源:AC100~240V,50~60HZ,16.8V內(nèi)置鋰電池/DC16-24V.數(shù)據(jù)存儲:3000組表面材質(zhì):SUS 316L連續(xù)工作時間:8小時
    零計數(shù):≤10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0
    執(zhí)行標準:ISO 21501-4:2018、GB/T6167-2007、JJF1190-2008采樣口徑:1/4”FlaretekTM
    使用環(huán)境條件:溫度:10-35℃,濕度:20-75%RH ,大氣壓:86-106kPa輸出方式:內(nèi)置熱敏打印機或485協(xié)議語言:中、英、德、日等多國語言

可用配件
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